@incollection{WagemannBanse2007,
  author    = {Hans-G{\"u}nther Wagemann and Klaus-Dieter Banse},
  title     = {Optionen der Halbleitertechnologie f{\"u}r Produktionssysteme},
  url       = {http://edoc.bbaw.de/oa/series/reXaIF2DOtIqw/PDF/24Ts8e2VjQhEo_335.pdf},
  year      = {2007},
}