TY  - CHAP
A1  - Wagemann, Hans-Günther
T1  - Bauelemente der Halbleitertechnik : (Vortrag in der Sitzung der technikwissenschaftlichen Klasse am 7. Januar 1994)
T2  - Berichte und Abhandlungen / Berlin-Brandenburgische Akademie der Wissenschaften (vormals Preußische Akademie der Wissenschaften) ; 1.1995
Y1  - 2018
UR  - https://edoc.bbaw.de/frontdoor/index/index/docId/2845
UR  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:kobv:b4-opus4-28459
SP  - 21
EP  - 40
ER  -