TY  - CHAP
A1  - Wagemann, Hans-Günther
A1  - Banse, Klaus-Dieter
T1  - Optionen der Halbleitertechnologie für Produktionssysteme
Y1  - 2007
UR  - https://edoc.bbaw.de/frontdoor/index/index/docId/367
UR  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:kobv:b4360-1002819
UR  - http://edoc.bbaw.de/oa/series/reXaIF2DOtIqw/PDF/24Ts8e2VjQhEo_335.pdf
ER  -